概覽
- The Fully Automated AFM for Accurate Inline Metrology of Hard Disk Head Sliders that makes doing great work simpler.
- Park Systems的PTR系列是針對全自動工業(yè)級線上的原子力顯微鏡解決方案，適用于（不限于）長形條、磁頭萬向節(jié)組件(HGA)級滑塊以及單獨滑塊的極尖沉降自動測量。憑借著亞納米級精確度、高重復精度以及高通量，PTR系列是滑塊廠商提高整體產量的理想測量工具。
- Inline Automation, for Fast, Accurate, and Repeatable PTR Measurements
- 硬盤驅動滑塊制造業(yè)要求工具不僅可以快速且流暢地測量極尖沉降，同時還要保證標準的精確度。這便是Park NX-PTR大展身手的領域。在超精確的極尖沉降測量之外，自動化功能可極大程度提高效率。這讓NX-PTR成為硬盤驅動器滑塊廠商的理想選擇，兼顧優(yōu)質質量和產量。
- High Throughput,with No Need for Multiple Reference Scans
- 大多數(shù)原子力顯微鏡需要多次掃描才可以準確測量極尖沉降，首先是大區(qū)域參考掃描，隨后小區(qū)域高分辨率掃描。多次掃描占用大量時間，且限制了通量的提高。我們的掃描系統(tǒng)帶來真正的平面掃描，有效地降低掃描次數(shù)。此外，True Non-Contact™模式讓探針保持鋒利，在延長使用壽命的同時，提供更持久的高分辨率成像效果。相應地，Park NX-PTR能夠生成感興趣區(qū)域的詳細準確圖像，而無需進行參考掃描，以便修正掃描器偽影。
應用
- Automated Inline Measurements of Hard Disk Sliders
- 隨著硬盤滑塊的尺寸越來越小，復雜性越來越高，提高產量的關鍵在于實現(xiàn)納米級的精確度。
- Park NX-PTR恰恰具備這樣的精確且自動的硬盤滑塊測量。
- Automatic PTR Measurement and Analysis
- 借助NX-PTR系統(tǒng)，極尖沉降測量可實現(xiàn)全自動，帶來更高的通量，無論是對于載體、長形條，還是滑塊。
- Park Systems的工業(yè)級原子力顯微鏡精確且穩(wěn)定的全自動化極尖沉降(PTR)測量成為可能。
- 極尖沉降量的監(jiān)測要求測量精度達到0.1 mm，這意味著離測量表面只有20 µm遠。
- Automatic Wall Angle Measurement & Analysis
- 實現(xiàn)各類墻角的自動測量與分析。
- Automatic Defect Measurement and Analysis
- 實現(xiàn)各類缺陷的全自動測量與分析，如表面尖角。
特點
- Low Noise XYZ Position Sensors for more accurate scans
- NX-PTR擯棄了常見的非線性Z軸電壓信號，而是采用超低噪聲Z軸探測器，從而帶來的形貌高度精度。憑借著行業(yè)的低噪聲Z軸探測器，正向掃描和反向掃描間隙得以降到掃描范圍的0.15%以內，甚至可以忽略不計，而這時Z軸形貌信號所無法企及的。
- Minimal Thermal Drift and Hysteresis reduces tip drift
- NX-PTR具備極為突出的熱穩(wěn)定性和機械穩(wěn)定性，從而大大降低熱漂移，實現(xiàn)更為精確的測量。一般情況下，橫向熱漂移率低于100 nm/°C，而垂直熱漂移率則低于200 nm/°C。
- Automatic Measurement Control so you can get accurate scans with less work
- NX-PTR配有自動化軟件，操作起來輕而易舉。您只需要選擇想要的測量程序，并設定相應的懸臂調諧、掃描速率、增益和點參數(shù)，便可取得多位置分析。此外，Park的用戶友好型界面讓您能夠隨意創(chuàng)建自定義作業(yè)程序，以便您發(fā)揮NX-PTR的實力，滿足所有的測量需求。創(chuàng)建新的作業(yè)程序極為簡單，新測量文件創(chuàng)建只需要10分鐘，而修改現(xiàn)有的測量文件則不超過5分鐘。
- Park NX-PTR’s automated system features:
自動、半自動和手動模式，讓您掌控全局
各自動程序的可編輯測量方法
測量過程實時監(jiān)測
自動分析所獲取的測量數(shù)據(jù)
選配
- Productivity meets Accuracy
- Automatic Tip Exchange
- Park推出的自動探針更換系統(tǒng)讓您的自動測量程序可以無縫續(xù)航。該系統(tǒng)會根據(jù)參考圖形測量數(shù)據(jù)，自動校正懸臂的位置和優(yōu)化測量設定。創(chuàng)新的磁性探針更換成功率高達99%，讓您無需分心監(jiān)督探針更換.
- Automatic Laser Beam Alignment
- Park的自動激光準直系統(tǒng)讓您無需輸入任何數(shù)據(jù)，便可持續(xù)自動測量。憑借著我們*的預準直懸臂架，激光在自動更換探針時便已對準懸臂。只需要調整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點，達到位置。
- Customize your AFM to make it more efficient and more effective
- Ionization System for a more stable scanning environment
創(chuàng)新的離子化系統(tǒng)能夠快速有效地消除樣品的靜電電荷。由于系統(tǒng)能夠讓陰陽離子保持的平衡狀態(tài)，樣品得以處在極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境中。同時，對周邊區(qū)域的污染幾乎可以忽略不計，并將樣品操作時意外產生靜電電荷的幾率降到。
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