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反應(yīng)離子束刻蝕

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公司名稱南京盈波光電科技有限公司
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型號(hào)
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廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2021/7/28 12:36:00
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南京盈波光電科技有限公司依托國內(nèi)科研院所技術(shù)，致力于高品質(zhì)的光電儀器研發(fā)，并提供以客戶為導(dǎo)向的光學(xué)儀器和解決方案。創(chuàng)始人劉教授入選南京321人才計(jì)劃。公司主營全元素快速檢測(cè)分析儀、光譜儀、激光器、光學(xué)機(jī)械，以及各類光電系統(tǒng)和軟件的訂制服務(wù)。在此基礎(chǔ)上還可以服務(wù)于基礎(chǔ)教學(xué)，訂制教學(xué)儀器系統(tǒng)。

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反應(yīng)離子束刻蝕

反應(yīng)離子束刻蝕產(chǎn)品信息

反應(yīng)離子束刻蝕

型號(hào)：NRE-4000

廠家：美國Nanomaster公司
技術(shù)指標(biāo):
反應(yīng)氣體：O₂, Ar, CF₄，CHF₃，SF₆
RF功率：600W
電極尺寸：240mm
刻蝕材料：氧化物、半導(dǎo)體、金屬等
晶片尺寸：6英寸
主要功能及應(yīng)用范圍：
用于各種材料的離子束反應(yīng)刻蝕，輔助形成微/納結(jié)構(gòu)。可用于各種微納器件與結(jié)構(gòu)的制作，如：微納電子器件，光電子器件，生物傳感器，微納機(jī)電系統(tǒng)，超導(dǎo)電子學(xué)器件，磁電子學(xué)器件等，也是研究材料在低維度、小尺寸下量子行為的重要輔助工具。

關(guān)鍵詞：傳感器